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低溫等離子體淨化技術是近年來發展起來的另一種廢氣治理新技術。低溫等離子體VOCs淨化技術利用介質放電產生的等離子體以極快的速度反複轟擊廢氣中的氣體分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成分，通過氧化等一係列複雜的化學反應，使複雜大分子汙染物轉變為一些小分子的安全物質，或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質。
低溫等離子體技術處理汙染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊汙染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一係列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子汙染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使汙染物得以降解去除。因其電離後產生的電子平均能量在10ev，適當控製反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
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